18.10.2006 Новости, Исследования и разработкиВ последние полвека рост производительности полупроводниковых устройств обеспечивался упаковкой все большего количества электронных компонентов в один полупроводниковый кристалл, в основном за счет нахождения новых и новых возможностей для миниатюризации электронных цепей. Сегодня ученые понимают, что эти возможности скоро будут исчерпаны, и нанотехнологии рассматриваются как один из путей для продолжения развития отрасли. Многие из перспективных направлений в наноэлектронике связываются в последнее время с фуллеренами, нанотрубками и другими похожими структурами, которые обозначают общим термином «углеродные каркасные структуры». Однако вместе с тем ученые прилагают все усилия, чтобы выжать максимум возможного из существующих производственных технологий. Так, на протяжении нескольких десятилетий полупроводниковая промышленность постоянно уменьшала размеры схем, стремясь повысить производительность и функциональность кристаллов, а соответственно и продуктов, в которых они используются. Однако сегодня величина кристаллов приближается к физическому пределу — размерам отдельных атомов и молекул, — что ставит под вопрос процесс дальнейшего совершенствования полупроводниковых кристаллов, описываемый законом Мура. Рекордно малый шаблон Как известно, кристаллы в микроэлектронике производят методом фотолитографии, которая по сути аналогична технологии трафаретной печати — за исключением того, что вместо краски или чернил используется свет. Фотолитографический процесс переносит ...
читать далее.
