09.09.1997  Мнения

 ТЕХНОЛОГИИ  Перспектива применения легких и компактных жидкокристаллических экранов на тонкопленочных транзисторах (TFT) в качестве дисплеев не только блокнотных ПК, но и настольных машин, быстрыми темпами переходит из категории сказок в реальность ближайших лет. Команды разработчиков из университетов и исследовательских подразделений некоторых компаний сосредоточили усилия на повышении эффективности изготовления TFT-матриц большого размера и высокого разрешения.  По сообщению Electronic Engineering Times, в Стэнфордском университете (шт. Калифорния) разработали двухэтапную технологию, отличающуюся от аналогов рядом новшеств. Эта технология предполагает в качестве первого шага использовать высокотемпературное (порядка 7000o С) воздействие для образования зародышей кристаллов (RTA, Rapid Thermal Annealing), дальнейший рост которых проходит в низкотемпературных условиях (около 5000o С). Как заявили исследователи из Стэнфорда, таким образом им удается получать поликристаллы с гранями размером в несколько микрон.  Основная проблема, которую решают разработчики,  -  ускорение процесса преобразования аморфного кремния в поликристаллический. Формируемые при этом транзисторы должны обеспечивать высокую мобильность электронов и низкие потери тока. По мнению представителей Стэнфорда, основное преимущество предлагаемой ими технологии состоит в возможности создавать зародыши кристаллов в нужном месте, а также выращивать грани большого размера. На первом этапе локализованное тепловое ... читать далее.